- 专利标题： POLISHING COMPOSITIONS AND METHODS OF USE THEREOF
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申请号： EP21779669.7申请日： 2021-03-29
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公开(公告)号： EP4127088A1公开(公告)日： 2023-02-08
- 发明人: MCDONOUGH, James , HUANG, Ting-Kai , LIANG, Yannan , CHANG, Shu-Wei , TSAI LIN, Sung , WEN, Liqing
- 申请人： FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc.
- 申请人地址： US North Kingstown, Rhode Island 02852 80 Circuit Drive
- 代理机构： Fish & Richardson P.C.
- 优先权： US202063002537 P 20200331
- 国际公布： WO2021202342 20211007
- 主分类号： C09G1/02
- IPC分类号： C09G1/02 ; H01L21/321 ; B44C1/22
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