发明公开
- 专利标题： FABRICATION OF FILMS HAVING CONTROLLED STOICHIOMETRY USING MOLECULAR BEAM EPITAXY
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申请号： EP21780187.7申请日： 2021-04-02
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公开(公告)号： EP4127276A1公开(公告)日： 2023-02-08
- 发明人: LIANG, Yong , ORTMANN, John Elliott Jr. , BERG, John , MELNICHUK, Ann
- 申请人： Psiquantum Corp. , Melnichuk, Ann
- 申请人地址： US Palo Alto, CA 94304 700 Hansen Way; US Palo Alto, California 94304 c/o PsiQuantum Corp. 700 Hansen Way
- 代理机构： Marks & Clerk LLP
- 优先权： US202117219970 20210401
- 国际公布： WO2021203049 20211007
- 主分类号： C30B23/00
- IPC分类号： C30B23/00 ; C30B23/02
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