Invention Publication
- Patent Title: PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN CIRCUIT ÉLECTRONIQUE QUANTIQUE
- Patent Title (English): METHOD FOR MANUFACTURING A QUANTUM ELECTRONIC CIRCUIT
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Application No.: EP22198944.5Application Date: 2022-09-30
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Publication No.: EP4160694A1Publication Date: 2023-04-05
- Inventor: NIEBOJEWSKI, Heimanu , BEDECARRATS, Thomas , BERTRAND, Benoit
- Applicant: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
- Applicant Address: FR 75015 Paris Bâtiment "Le Ponant D" 25 rue Leblanc
- Agency: Cabinet Camus Lebkiri
- Priority: FR2110390 20211001
- Main IPC: H01L29/06
- IPC: H01L29/06 ; H01L27/10 ; H01L29/423 ; H01L29/66 ; B82Y10/00
Abstract:
L'invention concerne un procédé de fabrication d' un circuit électronique quantique comprenant une couche semi-conductrice destinée à recevoir des qubits dans des îlots quantiques. La couche qubits peut recevoir les qubits pendant leur stockage et leur manipulation.Un aspect de l'invention concerne un procédé de fabrication d'un circuit (DISP) électronique quantique comprenant les étapes suivantes :
- graver une couche semiconductrice de manière à obtenir :
- une pluralité de piliers (PLR) chaque pilier semi-conducteur présentant une première extrémité, dite "base"; et
- une couche qubits (QBL) à la base de chaque pilier semiconducteur ;;
- oxyder le flanc de chaque pilier (PLR) ;
- former des lignes de couplage (CL) et des colonnes de couplage (CC) ; et
- déposer des couches de séparation (SEP1, SEP2, SEP3) en laissant dépasser une surface de contact (CS) de chaque pilier (PLR).
- graver une couche semiconductrice de manière à obtenir :
- une pluralité de piliers (PLR) chaque pilier semi-conducteur présentant une première extrémité, dite "base"; et
- une couche qubits (QBL) à la base de chaque pilier semiconducteur ;;
- oxyder le flanc de chaque pilier (PLR) ;
- former des lignes de couplage (CL) et des colonnes de couplage (CC) ; et
- déposer des couches de séparation (SEP1, SEP2, SEP3) en laissant dépasser une surface de contact (CS) de chaque pilier (PLR).
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