- 专利标题： DISPOSITIF OPTIQUE REFLECTOMETRIQUE A BALAYAGE ANGULAIRE INCLINE DE SURFACES CIBLES ET PROCEDE DE MESURE ASSOCIE
- 专利标题（英）： REFLECTOMETRIC OPTICAL DEVICE WITH INCLINED ANGULAR SCANNING OF TARGET SURFACES AND ASSOCIATED MEASUREMENT METHOD
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申请号： EP22714227.0申请日： 2022-03-08
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公开(公告)号： EP4305403A1公开(公告)日： 2024-01-17
- 发明人: BRUYANT, Aurélien , ARNAUD, Laurent
- 申请人： Université de Technologie de Troyes , Phaselab Instrument
- 申请人地址： FR 10000 Troyes 12, rue Marie Curie; FR 10430 Rosières-Prés-Troyes 2 rue Gustave Eiffel
- 代理机构： Novagraaf Technologies
- 优先权： FR2102209 20210308
- 国际公布： WO2022189749 20220915
- 主分类号： G01N21/552
- IPC分类号： G01N21/552
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