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FERROELEKTRISCHER SENSOR
摘要:
Es wird ein Sensor (1) beschrieben, der eine erste Elektrode (3a), eine ferroelektrischen Schicht (2) und eine zweite Elektrode (3b) aufweist. Die zweite Elektrode (3b) ist mit Masse verbunden ist und die ferroelektrische Schicht (2) ist zwischen der ersten und zweiten Elektrode (3a, 3b) angeordnet. Der Sensor (1) weist weitere erste Elektroden (3a), zweite Elektroden (3b) und ferroelektrische Schichten (2) auf, wobei die ferroelektrischen Schichten (2) zwischen den ersten und zweiten Elektroden (3a, 3b) angeordnet sind.
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