- 专利标题： MULTI-BEAM MICROSCOPE AND METHOD FOR OPERATING A MULTI-BEAM MICROSCOPE USING SETTINGS ADJUSTED TO AN INSPECTION SITE
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申请号： EP22725779.7申请日： 2022-04-26
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公开(公告)号： EP4348693A1公开(公告)日： 2024-04-10
- 发明人: SCHUBERT, Stefan
- 申请人： Carl Zeiss MultiSEM GmbH
- 申请人地址： DE 73447 Oberkochen Carl-Zeiss-Strasse 22
- 代理机构： Tesch-Biedermann, Carmen
- 优先权： DE102021205394 20210527
- 国际公布： WO2022248141 20221201
- 主分类号： H01J37/153
- IPC分类号： H01J37/153 ; H01J37/244 ; H01J37/28 ; H01J37/29
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