- 专利标题: PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE PUCE ÉLECTRONIQUE COMPRENANT UN CIRCUIT MÉMOIRE
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申请号: EP23204807.4申请日: 2023-10-20
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公开(公告)号: EP4362627A1公开(公告)日: 2024-05-01
- 发明人: WEBER, Olivier , BERTHELON, Remy
- 申请人: STMicroelectronics Crolles 2 SAS
- 申请人地址: FR 38920 Crolles 850 rue Jean Monnet
- 专利权人: STMicroelectronics Crolles 2 SAS
- 当前专利权人: STMicroelectronics Crolles 2 SAS
- 当前专利权人地址: FR 38920 Crolles 850 rue Jean Monnet
- 代理机构: Cabinet Beaumont
- 优先权: FR 2211193 2022.10.27
- 主分类号: H10B63/10
- IPC分类号: H10B63/10
摘要:
La présente description concerne un procédé de fabrication d'une puce électronique (45) comportant les étapes successives suivantes :
a) formation d'une première couche sur et en contact avec une deuxième couche semiconductrice (13), la deuxième couche étant sur et en contact avec une troisième couche semiconductrice (15) ;
b) dopage de la première couche de sorte à former, sur la deuxième couche, une première sous-couche (51) dopée du premier type de conductivité (N) et une deuxième sous-couche (49) dopée du deuxième type de conductivité (P) ;
c) formation d'ilots (47) dans la première couche organisés selon une matrice de lignes et de colonnes à la surface de la deuxième couche (13) ; et
d) formation de points mémoires (M1) à base d'un matériau à changement de phase (33) sur les ilots (47) de la première couche.
a) formation d'une première couche sur et en contact avec une deuxième couche semiconductrice (13), la deuxième couche étant sur et en contact avec une troisième couche semiconductrice (15) ;
b) dopage de la première couche de sorte à former, sur la deuxième couche, une première sous-couche (51) dopée du premier type de conductivité (N) et une deuxième sous-couche (49) dopée du deuxième type de conductivité (P) ;
c) formation d'ilots (47) dans la première couche organisés selon une matrice de lignes et de colonnes à la surface de la deuxième couche (13) ; et
d) formation de points mémoires (M1) à base d'un matériau à changement de phase (33) sur les ilots (47) de la première couche.
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