发明公开
- 专利标题： PROCEDE DE PREPARATION D'UN SUBSTRAT SUPPORT MUNI D'UNE COUCHE DE PIEGEAGE DE CHARGES
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申请号： EP22802685.2申请日： 2022-10-25
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公开(公告)号： EP4430652A1公开(公告)日： 2024-09-18
- 发明人: KIM, Youngpil , KONONCHUK, Oleg , WONG, Chee Hoe , KUAN CHIEN, Shen , SENG HOE, Tan , KEYAN, Zang , MASATO, Ishii
- 申请人： SOITEC , Applied Materials Inc;
- 申请人地址： FR 38190 Bernin Parc Technologique des Fontaines Chemin des Franques
- 专利权人： SOITEC,Applied Materials Inc;
- 当前专利权人： SOITEC,Applied Materials Inc;
- 当前专利权人地址： FR 38190 Bernin Parc Technologique des Fontaines Chemin des Franques
- 代理机构： IP Trust
- 优先权： FR 11875 2021.11.09
- 国际申请： FR2022052022 2022.10.25
- 国际公布： WO2023084173 2023.05.19
- 主分类号： H01L21/02
- IPC分类号： H01L21/02 ; H01L21/762
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