- 专利标题： GAS DIFFUSER HOUSINGS, DEVICES, AND RELATED METHODS
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申请号： EP22896341.9申请日： 2022-11-09
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公开(公告)号： EP4434082A1公开(公告)日： 2024-09-25
- 发明人: ADDORISIO, Michael , MCCRIMMON, David , WARKE, Virendra , DION, Devon , SCHOOLER, Benjamin
- 申请人： Entegris, Inc.
- 申请人地址： US Billerica, MA 01821 129 Concord Road
- 专利权人： Entegris, Inc.
- 当前专利权人： Entegris, Inc.
- 当前专利权人地址： US Billerica, MA 01821 129 Concord Road
- 代理机构： Greaves Brewster LLP
- 优先权： US 2163280283P 2021.11.17
- 国际申请： US2022049416 2022.11.09
- 国际公布： WO2023091340 2023.05.25
- 主分类号： H01L21/673
- IPC分类号： H01L21/673 ; H01L21/67
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