- 专利标题： ELECTROSTATICALLY-EXCITED HERMETIC MULTI-CELL MICROELECTROMECHANICAL ACTUATOR AND PRODUCTION METHOD THEREOF
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申请号： EP22829842.8申请日： 2022-11-23
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公开(公告)号： EP4436910A1公开(公告)日： 2024-10-02
- 发明人: VIRZONIS, Darius , VANAGAS, Gailius , DZIKARAS, Mindaugas , BARAUSKAS, Dovydas , PELENIS, Donatas , MIKOLAJUNAS, Marius
- 申请人： Kaunas University of Technology
- 申请人地址： LT 44249 Kaunas K. Donelaicio g. 73
- 专利权人： Kaunas University of Technology
- 当前专利权人： Kaunas University of Technology
- 当前专利权人地址： LT 44249 Kaunas K. Donelaicio g. 73
- 代理机构： AAA Law
- 优先权： LT 21572 2021.11.26
- 国际申请： IB2022061325 2022.11.23
- 国际公布： WO2023095014 2023.06.01
- 主分类号： B81B3/00
- IPC分类号： B81B3/00 ; H02N1/00
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