Cold welding sealing method and apparatus
摘要:
冷間圧接法、ジョイント構造、および気密封止された封じ込め装置が提供される。 この方法は、第1の金属を含む第1の接合面を含む少なくとも1つの第1のジョイント構造を有する第1の基材を提供すること、第2の金属を含む第2の接合面を含む少なくとも1つの第2のジョイント構造を有する第2の基材を提供すること、および前記接合面を、1つまたは複数の界面で、前記接合面の前記第1の金属と前記第2の金属の間に金属−金属結合を形成するのに有効な量だけ、局所的に変形させ、剪断するために、前記少なくとも1つの第1のジョイント構造と前記少なくとも1つの第2のジョイント構造とを合わせて圧縮することを含む。 接合面のオーバラップ部分は、表面汚染物を置換し、接合面間の密接を入熱なしに促進するのに有効である。 気密封止された装置は、薬物製剤、バイオセンサまたはMEMS装置を含むことができる。
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