发明专利
- 专利标题： 基板移送装置及びこれを用いた基板移送方法
- 专利标题（英）： Substrate transfer device and substrate transfer method using the same
- 专利标题（中）： 基板传送装置和基板传送方法
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申请号： JP2014086345申请日： 2014-04-18
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公开(公告)号： JP2014212321A公开(公告)日： 2014-11-13
- 发明人: KIM TE HYUN , KIM DONG HYEOK , KIM SANG HYUN
- 申请人： ヒュンダイ ヘビー インダストリーズ カンパニー リミテッドHyundai Heavy Industries Co., Ltd. , Hyundai Heavy Industries Co Ltd , ヒュンダイ ヘビー インダストリーズ カンパニー リミテッドHyundai Heavy Industries Co., Ltd.
- 专利权人： ヒュンダイ ヘビー インダストリーズ カンパニー リミテッドHyundai Heavy Industries Co., Ltd.,Hyundai Heavy Industries Co Ltd,ヒュンダイ ヘビー インダストリーズ カンパニー リミテッドHyundai Heavy Industries Co., Ltd.
- 当前专利权人： ヒュンダイ ヘビー インダストリーズ カンパニー リミテッドＨｙｕｎｄａｉ Ｈｅａｖｙ Ｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓ Ｃｏ．， Ｌｔｄ．,Hyundai Heavy Industries Co Ltd,ヒュンダイ ヘビー インダストリーズ カンパニー リミテッドＨｙｕｎｄａｉ Ｈｅａｖｙ Ｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓ Ｃｏ．， Ｌｔｄ．
- 优先权： KR20130043857 2013-04-19
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677
摘要：
【課題】支持ハンドが直線軌跡から逸脱して蛇行する程度を減少できる基板移送装置及びこれを用いた基板移送方法を提供する。【解決手段】基板移送装置は、基板を支持するための支持ハンドと、前記支持ハンドが回転可能に結合されるアームユニットと、前記アームユニットが回転可能に結合されるアームベースと、前記支持ハンドを移動させるために前記アームユニット及び前記支持ハンドを回転させる駆動部と、前記支持ハンドが向かう方向が変更されるように前記アームベースを回転させる旋回部と、を含み、前記旋回部は、前記駆動部が前記支持ハンドを移動させる過程で前記支持ハンドの蛇行方向と反対の方向に前記アームベースを回転させる。【選択図】図2
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