【課題】処理対象物を所望の電位に帯電させ得る効果が極めて高い帯電処理装置を提供すること。 【解決手段】帯電処理装置C1は、処理対象物POを所望の電位に帯電させる。帯電処理装置C1は、荷電粒子形成用ガスを含む所定の圧力雰囲気下で処理対象物POを包囲する処理部1と、処理部1内に配置され、かつ、電子を発生させる電子発生源(光電子放出体7)を有する電子源部3と、電子源部3と処理対象物POとの間に配置されているメッシュ状の電極部30と、を備えている。電子源部3には、電子発生源にて発生した電子を電極部30に向けて加速させる加速電界が形成されている。処理部1及び電極部30の電位が、上記所望の電位とされる。 【選択図】図4