发明专利
JP2017125861A 基板の異物質検査方法
审中-公开
- 专利标题： 基板の異物質検査方法
- 专利标题（英）： Method for inspecting base plate for foreign substances
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申请号： JP2017057243申请日： 2017-03-23
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公开(公告)号： JP2017125861A公开(公告)日： 2017-07-20
- 发明人: リ、 ヒュン‐ソク , ヤン、 ジェ‐シク , キム、 ジャ‐クン , キム、 ヘ‐テ , ユ、 ヘ‐ウォク
- 申请人： コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド
- 申请人地址： 大韓民国、ソウル、クムチョン−グ、カサンデジタル 2−ロ、53、F14−15 (カサン−ドン、ハラ シグマ バレー)
- 专利权人： コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド
- 当前专利权人： コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド
- 当前专利权人地址： 大韓民国、ソウル、クムチョン−グ、カサンデジタル 2−ロ、53、F14−15 (カサン−ドン、ハラ シグマ バレー)
- 代理商 中島 淳; 加藤 和詳
- 优先权： KR10-2013-0036076 2013-04-02 KR10-2014-0032676 2014-03-20
- 主分类号： G01B11/24
- IPC分类号： G01B11/24 ; G06T1/00 ; G01N21/956
摘要：
【課題】基板上に存在する異物質を容易で正確に検査することのできる基板の異物質検査方法を提供する。 【解決手段】基板の異物質を検査するために、獲得された測定領域のイメージを基板の基準イメージと比較して異物質があるかの可否を検査する。それによって、作業者がディスプレイされる基板のイメージの特定部分に対応して実際基板の該当部分の位置を容易に把握することができ、基板上に存在する異物質を容易に検出することができる。 【選択図】図1
公开/授权文献
- JP6425755B2 基板の異物質検査方法 公开/授权日：2018-11-21
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