及び次の構造(1’)を有する一つの末端基から構成される少なくとも一つの新規ランダムコポリマーから構成される:

式中、R1は、C1〜C8アルキル、C2〜C8フルオロアルキル、C4〜C8部分フッ素化アルキル部分、C4〜C8シクロアルキル、C4〜C8シクロフルオロアルキル、C4〜C8部分フッ素化シクロアルキル、及びC2〜C8ヒドロキシアルキルからなる群から選択され;R2、R3及びR5は、独立して、H、C1〜C4アルキル、CF3及びFからなる群から選択され;R4は、H、C1〜C8アルキル、C1〜C8部分フッ素化アルキル部分、及びC1〜C8フルオロアルキルからなる群から選択され、nは1〜5の範囲であり、R6は、H、F、C1〜C8アルキル及びC1〜C8フルオロアルキルからなる群から選択され、そしてmは1〜3の範囲であり、そしてn’は1〜5の範囲であり、そしてn’’は1〜5の範囲であり、n’’’は1〜5の範囲であり、R7はC1〜C8アルキルであり、そしてXは−CNまたはアルキルオキシカルボニル部分R8−O−(C=O)−(R8はC1〜C8アルキルである)であり、
そして

は、該ポリマーに対する前記末端基の結合点を表す。
該新規ポリマー、組成物及び方法は、電子デバイスの製造に有用である。 ">

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JP2018538382A ブロックコポリマーの自己組織化のための組成物及び方法 审中-公开

ブロックコポリマーの自己組織化のための組成物及び方法
Abstract:
本発明は、架橋可能及びグラフト可能部分を含む新規コポリマー、これらの新規コポリマー及び溶剤から構成される新規組成物、及び架橋されかつ基材上にグラフトした中性層フィルムであって、この中性層がコーティングされた基材上でブロックコポリマー(BCP)のマイクロドメインを整列するための方法に、例えば自己組織化及び誘導自己組織化に使用される中性層フィルムを形成するためのこれらの新規組成物を使用する方法に関する。該新規組成物は、構造(1)の少なくとも一つの単位、構造(2)の少なくとも一つの単位、構造(3)の少なくとも一つの単位、 及び次の構造(1’)を有する一つの末端基から構成される少なくとも一つの新規ランダムコポリマーから構成される: 式中、R 1 は、C 1 〜C 8 アルキル、C 2 〜C 8 フルオロアルキル、C 4 〜C 8 部分フッ素化アルキル部分、C 4 〜C 8 シクロアルキル、C 4 〜C 8 シクロフルオロアルキル、C 4 〜C 8 部分フッ素化シクロアルキル、及びC 2 〜C 8 ヒドロキシアルキルからなる群から選択され;R 2 、R 3 及びR 5 は、独立して、H、C 1 〜C 4 アルキル、CF 3 及びFからなる群から選択され;R 4 は、H、C 1 〜C 8 アルキル、C 1 〜C 8 部分フッ素化アルキル部分、及びC 1 〜C 8 フルオロアルキルからなる群から選択され、nは1〜5の範囲であり、R 6 は、H、F、C 1 〜C 8 アルキル及びC 1 〜C 8 フルオロアルキルからなる群から選択され、そしてmは1〜3の範囲であり、そしてn’は1〜5の範囲であり、そしてn’’は1〜5の範囲であり、n’’’は1〜5の範囲であり、R 7 はC 1 〜C 8 アルキルであり、そしてXは−CNまたはアルキルオキシカルボニル部分R 8 −O−(C=O)−(R 8 はC 1 〜C 8 アルキルである)であり、 そして は、該ポリマーに対する前記末端基の結合点を表す。 該新規ポリマー、組成物及び方法は、電子デバイスの製造に有用である。
Abstract(English):

The present invention relates to novel copolymers comprising crosslinkable and graftable moieties, novel compositions comprised of these new copolymers and solvents, and is cross-linked and a neutral layer film grafted onto a substrate, the neutral to a process for the layer to align the microdomains of the block copolymer (BCP) in coated substrate, for example, these novel for forming the neutral layer film used in the self-assembly and directed self-organization to methods of using the compositions. The novel compositions comprise at least one unit of structure (1), at least one unit of structure (2), at least one unit of structure (3),

And composed of at least one of the novel random copolymer composed of one end group having the following structure (1 '):

In the formula, R 1, C 1 -C 8 alkyl, C 2 -C 8 fluoroalkyl, C 4 -C 8 partially fluorinated alkyl moiety, C 4 -C 8 cycloalkyl, C 4 -C 8 cycloalkyl fluoroalkyl, C 4 -C 8 partially fluorinated cycloalkyl, and C 2 -C 8 is selected from the group consisting of hydroxy alkyl; R 2, R 3 and R 5 are independently, H, C 1 -C 4 alkyl, CF is selected from 3 the group consisting of F; R 4 is, H, is selected C 1 -C 8 alkyl, C 1 -C 8 partially fluorinated alkyl moiety, and from the group consisting of C 1 -C 8 fluoroalkyl, n is in the range of 1 to 5, R 6 are, H, F, is selected from C 1 -C 8 alkyl and C 1 -C groups of 8 fluoroalkyl, and m ranges from 1-3, and n 'is in the range of 1 to 5 der And n '' is in the range of 1 to 5, n '' 'ranges from 1 to 5, R 7 is C 1 -C 8 alkyl, and X is -CN or alkyloxycarbonyl moiety R 8 -O- (C = O) - is a (R 8 is C 1 -C 8 alkyl),
And

Represents the point of attachment of the end group for the polymer.
The novel polymer compositions and methods are useful in the manufacture of electronic devices.

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