发明专利
- 专利标题： Method of manufacturing devices requiring non-volatile getter material for actuation
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申请号： JP2006539078申请日： 2004-11-09
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公开(公告)号： JP4865562B2公开(公告)日： 2012-02-01
- 发明人: アミオッティ，マルコ , ドラゴーニ，コスタンツァ , パラディーノ，マッシモ , モライア，マルコ
- 申请人： サエス ゲッターズ ソチエタ ペル アツィオニ
- 专利权人： サエス ゲッターズ ソチエタ ペル アツィオニ
- 当前专利权人： サエス ゲッターズ ソチエタ ペル アツィオニ
- 优先权： ITMI20032209 2003-11-14
- 主分类号： H01L23/26
- IPC分类号： H01L23/26 ; B81B7/00 ; C23C14/58 ; C23G1/10 ; C23G1/20
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