发明专利
- 专利标题： 参照リーク発生装置およびそれを用いた超微小リーク試験装置
- 专利标题（英）： Referring leak generator and the super-fine leak test apparatus using the same
- 专利标题（中）： 参照泄漏发生器和使用其的超精细泄漏测试设备
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申请号： JP2014548520申请日： 2013-11-12
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公开(公告)号： JP6091017B2公开(公告)日： 2017-03-08
- 发明人: 吉田 肇 , 新井 健太 , 小畠 時彦
- 申请人： 国立研究開発法人産業技術総合研究所
- 申请人地址： 東京都千代田区霞が関1−3−1
- 专利权人： 国立研究開発法人産業技術総合研究所
- 当前专利权人： 国立研究開発法人産業技術総合研究所
- 当前专利权人地址： 東京都千代田区霞が関1−3−1
- 代理商 丹羽 匡孝; 西山 善章; 梅田 明彦
- 优先权： JP2012254849 2012-11-21
- 国际申请： JP2013080551 JP 2013-11-12
- 国际公布： WO2014080798 JP 2014-05-30
- 主分类号： G01M3/02
- IPC分类号： G01M3/02
公开/授权文献
- JPWO2014080798A1 参照リーク発生装置およびそれを用いた超微小リーク試験装置 公开/授权日：2017-01-05
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