Invention Patent
- Patent Title: 帯電処理装置
- Patent Title (English): JP6343212B2 - The charging processing unit
-
Application No.: JP2014186560Application Date: 2014-09-12
-
Publication No.: JP6343212B2Publication Date: 2018-06-13
- Inventor: 松浦 恵樹 , 石原 良俊 , 渥美 明
- Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
- Applicant Address: 静岡県浜松市東区市野町1126番地の1
- Assignee: 浜松ホトニクス株式会社
- Current Assignee: 浜松ホトニクス株式会社
- Current Assignee Address: 静岡県浜松市東区市野町1126番地の1
- Agent 長谷川 芳樹; 黒木 義樹; 柴山 健一
- Main IPC: G21K5/04
- IPC: G21K5/04 ; H01L21/677
Public/Granted literature
- JP2016058702A 帯電処理装置 Public/Granted day:2016-04-21
Information query
