ノボラック型樹脂及びレジスト膜
Abstract:
現像性、耐熱性及びドライエッチング耐性に優れるノボラック型樹脂及びレジスト膜を提供すること。下記構造式(1)[式中αは下記構造式(2)で表される構造部位(α)であり、nは2〜10の整数である。]で表される分子構造を有する環状ノボラック型樹脂(A)を含有し、樹脂中に存在するXのうち少なくとも一つが3級アルキル基、アルコキシアルキル基、アシル基、アルコキシカルボニル基、ヘテロ原子含有環状炭化水素基、トリアルキルシリル基の何れかであることを特徴とするノボラック型樹脂。
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