レーザ加工機
Abstract:
テーブル(108)に載置、固定したワーク(W)に対してレーザ光を照射しつつ、ワーク上におけるレーザ光の照射位置を移動して、該ワークを加工するレーザ加工機(100)が、レーザ発振器(156)と、レーザ発振器からのレーザ光をワークへ向けて照射するレーザ照射ヘッド(110)であって、レーザ光のワーク表面上の照射位置を2方向に移動させるガルバノスキャナを備えたレーザ照射ヘッドと、レーザ照射ヘッドの姿勢を変更するパラレルマニピュレータ(130)と、パラレルマニピュレータを支持するスライド部材(114)と、直交する少なくとも2つの方向にスライド部材をテーブルに対して相対移動させる直線送り軸装置(150、152)とを備える。
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