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KR100917747B1 나노 임프린트 스테이지 장비 개발을 위한 시뮬레이션 시스템 有权
开发纳米压印级设备的系统和方法

나노 임프린트 스테이지 장비 개발을 위한 시뮬레이션 시스템
摘要：
본 발명은 나노 임프린트 스테이지 장비 개발을 위한 시뮬레이션 시스템 및 그 방법을 제공하기 위한 것으로, 화면에 보이는 그래픽스 창을 관리하는 뷰 클래스 처리부와; 상기 뷰 클래스 처리부와 연결되고, 객체를 생성하거나 삭제하고, 생성된 객체에 액츄에이터 또는 센서를 장착하는 명령을 주관하고, 가상장비 시뮬레이터를 구동시키는 부분이 있으면 구동시키는 부분이 정상 작동하도록 처리하는 모델 클래스 처리부와; 상기 모델 클래스 처리부와 연결되고, 사용자 직접 입력해주어야 하는 값들에 대한 대화창을 관할하는 대화창 클래스 처리부;를 포함하여 구성함으로써, 가상장비를 이용하여 장비 제어 소프트웨어의 신뢰성을 검증하여 실물장비가 출시되기 전 단계에서도 장비제어 소프트웨어의 개발이 가능하도록 할 수 있게 되는 것이다.
3D 영상처리, 가상장비, 시뮬레이션, 모델링, 테스트
摘要（英）：

The present invention and that the view class that manages the graphics window visible on the screen processing unit to provide a simulation system and method for developing nanoimprint stage equipment; Is connected to the view class processor, create or delete the objects, organize the command to mount the actuator or sensor to the generated object, and model class that handles that part of the normal operation of driving if the parts for driving the virtual equipment simulators and processing; Being connected to the model class processor, the dialog class processor which governs the dialog for values ​​that haejueoya user input directly; by configuration, including, it verifies the reliability of the equipment control software using a virtual appliance, real equipment is pre-release stage It will also be able to enable the development of machine control software. 3D image processing, virtual appliance, simulation, modeling, testing,

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