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KR101162797B1 마이크로일렉트로닉스 기판용 세정 조성물 有权
微电子基板清洁组合物

마이크로일렉트로닉스 기판용 세정 조성물
摘要:
1종 이상의 유기 스트리핑 용매, 1종 이상의 친핵성 아민, 수용액 중의 pK 값이 2.0 이상이고 등가 중량이 140 미만인, 스트리핑 조성물의 수성 pH가 약 9.6 내지 약 10.9이도록 친핵성 아민의 약 3 중량% 내지 약 75 중량%를 중화시키기에 충분한 양의 1종 이상의 질소 미함유 약산, 디에틸렌 글리콜 및 디에틸렌 글리콜아민으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 금속-제거 화합물, 및 물을 포함하는, 마이크로일렉트로닉스 기판을 세정하기 위한 스트리핑 및 세정 조성물 및 상기 조성물로 마이크로일렉트로닉스 기판을 세정하는 방법.
유기 스트리핑 용매, 친핵성 아민, 질소 미함유 약산, 금속-제거 화합물, 마이크로일렉트로닉스 기판, 스트리핑 조성물, 세정 조성물
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