发明授权
- 专利标题: 노광용 LED 광원 모듈, 노광용 LED 광원 장치 및 노광용 LED 광원장치 관리시스템
- 专利标题(英): Exposure led light source module, an exposure apparatus and an exposure light source led led light source apparatus control system
- 专利标题(中): LED光源模块,LED光源装置和LED光源装置管理系统
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申请号: KR1020110106834申请日: 2011-10-19
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公开(公告)号: KR101344037B1公开(公告)日: 2013-12-24
- 发明人: 이재경 , 오소영 , 심현창 , 윤동길 , 김동영 , 임상균 , 정성용 , 서재인 , 박종식 , 최환용 , 신미선 , 김한용
- 申请人: 주식회사 인피테크
- 申请人地址: 충청북도 청주시 흥덕구 가로수로 ****(복대동, 진용빌딩)
- 专利权人: 주식회사 인피테크
- 当前专利权人: 주식회사 인피테크
- 当前专利权人地址: 충청북도 청주시 흥덕구 가로수로 ****(복대동, 진용빌딩)
- 代理商 안세영
- 主分类号: F21S2/00
- IPC分类号: F21S2/00 ; F21V8/00 ; G03F7/20 ; F21Y101/02
摘要:
본발명은반도체웨이퍼, 디스플레이패널등 다양한크기와종류의노광대상물및 다양한성질의포토레지스트(Photo resist, PR)를하나의광원으로노광할수 있도록 LED(Light Emitting Diode)를광원으로하는광원유닛을다수개포함하는단일광원모듈을제공하고, 이를효율적으로제어및 관리할수 있는장치및 관리시스템을제공함으로써, 노광광원의강도를세밀하고간편하게조절하여노광대상물을정확하고빠르게노광할수 있으며, 장애에대한신속하고간편한처리가가능한노광용 LED 광원모듈, 노광용 LED 광원장치및 노광용 LED 광원장치관리시스템을제공한다.
公开/授权文献
- KR1020130042766A 노광용 LED 광원 모듈, 노광용 LED 광원 장치 및 노광용 LED 광원장치 관리시스템 公开/授权日:2013-04-29
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