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노광용 LED 광원 모듈, 노광용 LED 광원 장치 및 노광용 LED 광원장치 관리시스템
摘要:
본발명은반도체웨이퍼, 디스플레이패널등 다양한크기와종류의노광대상물및 다양한성질의포토레지스트(Photo resist, PR)를하나의광원으로노광할수 있도록 LED(Light Emitting Diode)를광원으로하는광원유닛을다수개포함하는단일광원모듈을제공하고, 이를효율적으로제어및 관리할수 있는장치및 관리시스템을제공함으로써, 노광광원의강도를세밀하고간편하게조절하여노광대상물을정확하고빠르게노광할수 있으며, 장애에대한신속하고간편한처리가가능한노광용 LED 광원모듈, 노광용 LED 광원장치및 노광용 LED 광원장치관리시스템을제공한다.
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