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KR101799158B1 주석 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법 有权
锡前体，其制备方法，以及使用该锡前体形成薄膜的方法

  • 专利标题： 주석 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법
  • 专利标题（英）： Stannum precursors, preparation method thereof and process for the formation of thin film using the same
  • 专利标题（中）： 锡前体，其制备方法，以及使用该锡前体形成薄膜的方法
  • 申请号： KR1020150158237
    申请日： 2015-11-11
  • 公开(公告)号： KR101799158B1
    公开(公告)日： 2017-11-17
  • 发明人: 박보근 , 정택모 , 전동주 , 한정환 , 남지현 , 김창균
  • 申请人： 한국화학연구원
  • 申请人地址： ***, Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon, *****, Republic of Korea
  • 专利权人： 한국화학연구원
  • 当前专利权人： 한국화학연구원
  • 当前专利权人地址： ***, Gajeong-ro, Yuseong-gu, Daejeon, *****, Republic of Korea
  • 代理商 한양특허법인
  • 主分类号： C07F7/22
  • IPC分类号： C07F7/22 ;  C23C16/06 ;  C23C16/455 ;  H01L21/205 ;  H01L21/02
주석 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법
摘要：
본발명은열적안정성과휘발성이개선된신규한주석전구체에관한것으로, 상기주석전구체를이용하여낮은온도에서우수한성장속도로, 쉽게양질의주석산화물박막을제조하는방법및 이를통해제조된박막을제공할수 있다.
摘要（中）：

本发明提供了热稳定性，并通过使用锡前体，可容易地制造优良品质的氧化锡薄膜的方法以及通过制备该薄膜涉及一种新的前体的锡的挥发性的提高，与在较低温度下优于增长率 你可以。

摘要（英）：

The present invention provides thermal stability and relates to a novel tin precursors volatile improved, with superior growth rate at a lower temperature by using the tin precursor, a method for easily producing a tin oxide thin film of good quality and this thin film prepared by can do.

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