자동화 설비 원격 제어 시스템
摘要:
본발명은자동화설비원격제어시스템에관한것으로, 반도체자동화설비에서이상동작발생시신호탑에서발생하는알람정보를수신하는 I/O모듈; 상기반도체자동화설비를원격지에서제어시추가원격제어가불가능하도록하는 OSD(On Screen Display) 젠더; 상기반도체자동화설비내에설치된 IP카메라를통하여기계동작을영상저장하여이상동작시별도의영상을저장하는블랙박스; 상기 I/O모듈, 상기 OSD 젠더, 및상기블랙박스의정보를송신하고제어하는 MCS(Machine Control System); 및상기 MCS를통해정보를수신하여반도체자동화설비의이상동작을확인하고제어하는원격컴퓨터;를포함하는것을특징으로한다.
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