Invention Publication
- Patent Title: 나노임프린트용 몰드
- Patent Title (English): Mold for nanoimprint
- Patent Title (中): 模具为NANOIMPRINT
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Application No.: KR1020117006282Application Date: 2009-09-24
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Publication No.: KR1020110073455APublication Date: 2011-06-29
- Inventor: 와타나베준지 , 니시무라스즈시 , 세키다카시 , 히라이도무
- Applicant: 고쿠리츠다이가쿠호진 토쿄고교 다이가꾸 , 제이엑스티지 에네루기 가부시키가이샤
- Applicant Address: *-**-* Ookayama, Meguro-ku, Tokyo, Japan
- Assignee: 고쿠리츠다이가쿠호진 토쿄고교 다이가꾸,제이엑스티지 에네루기 가부시키가이샤
- Current Assignee: 고쿠리츠다이가쿠호진 토쿄고교 다이가꾸,제이엑스티지 에네루기 가부시키가이샤
- Current Assignee Address: *-**-* Ookayama, Meguro-ku, Tokyo, Japan
- Agent 장훈
- Priority: JPJP-P-2008-246101 2008-09-25
- International Application: PCT/JP2009/066514 2009-09-24
- International Announcement: WO2010035743 2010-04-01
- Main IPC: B29C59/02
- IPC: B29C59/02 ; B29C33/40 ; C08G77/60 ; H01L21/027
Abstract:
액정성 폴리실란을 함유하고, 상기 액정성 폴리실란이 배향하여 스메틱상을 형성함으로써 형성된 요철면을 갖는 나노임프린트용 몰드.
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