Invention Publication
- Patent Title: 광경화물의 제조 방법
- Patent Title (English): Method for manufacturing photo cured material
- Patent Title (中): 制造照片固化材料的方法
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Application No.: KR1020147032394Application Date: 2013-04-23
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Publication No.: KR1020150010747APublication Date: 2015-01-28
- Inventor: 이토도시키 , 이이무라아키코
- Applicant: 캐논 가부시끼가이샤
- Applicant Address: **-*, Shimomaruko *-chome, Ohta-ku, Tokyo, Japan
- Assignee: 캐논 가부시끼가이샤
- Current Assignee: 캐논 가부시끼가이샤
- Current Assignee Address: **-*, Shimomaruko *-chome, Ohta-ku, Tokyo, Japan
- Agent 장수길; 이중희
- Priority: JPJP-P-2012-102342 2012-04-27
- International Application: PCT/JP2013/062684 2013-04-23
- International Announcement: WO2013162049 2013-10-31
- Main IPC: B29C59/02
- IPC: B29C59/02 ; H01L21/027
Abstract:
본 발명은 전사 정밀도를 개선할 수 있고 작은 표면 거칠기를 얻을 수 있는 광경화물의 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 제조 방법은 광경화성 조성물을 기판 상에 배치하는 단계; 몰드를 광경화성 조성물과 접촉시키는 단계; 광경화성 조성물에 광을 조사하는 단계; 및 광경화성 조성물로부터 몰드를 이형시키는 단계를 포함한다. 상기 접촉 단계는 응축성 가스 분위기에서 수행하며, 상기 응축성 가스는 접촉시의 온도 조건 하에 그리고 기판과 몰드 또는 몰드상에 제공된 캐비티 사이의 간격에 광경화성 조성물이 침입할 때 응축성 가스가 받는 압력 조건하에서 응축하고, 상기 광경화성 조성물은 응축성 가스에 대하여 -1.0% 내지 3.0%의 중량 변화율을 갖는 가스 용해 억제제를 포함한다.
Public/Granted literature
- KR101667132B1 광경화물의 제조 방법 Public/Granted day:2016-10-17
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