发明公开
KR1020150068283A 그리드 편광 소자 审中-实审
网格偏振装置

그리드 편광 소자
摘要:
산화성가스에의한열화를방지한구조로함으로써자외역의광의편광용에적합하게사용되는그리드편광소자를제공한다. 다수의선상부(21)로이루어지는줄무늬형상의그리드층(2)을투명기판(1) 상에설치한구조의그리드편광소자는, 자외선을편광시키는것이가능하고, 그리드층(2)은, 산소활성종이나오존과같은자외선에의해생성되는산화성가스를차단하는가스차단층(3)으로덮여있다. 가스차단층(3)은, 편광시키는광의파장에있어서투명이다.
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