Invention Publication
KR1020150132193A 기재 상에 임프린트를 퇴적시키기 위한 시스템 审中-实审
用于将印迹沉积在基底上的系统

기재 상에 임프린트를 퇴적시키기 위한 시스템
Abstract:
기재상에임프린트를퇴적시키기위한시스템은내부에배치된적어도하나의유출구를갖는퇴적표면, 퇴적표면에맞대어기재를유지하고있기위한기재홀더, 기재상에재료를퇴적시키기위해상기적어도유출구를통해상기재료를공급하도록퇴적표면과작동가능하게연관된수단, 및퇴적표면과기재사이에서접촉하게배치된스페이서부재를포함한다.
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