Invention Publication
- Patent Title: 모노머, 유기막 조성물, 유기막, 및 패턴형성방법
- Patent Title (English): Monomer, organic layer composition, organic layer, and method of forming patterns
- Patent Title (中): 单体有机层组成有机层及其形成方法
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Application No.: KR1020150095960Application Date: 2015-07-06
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Publication No.: KR1020170005636APublication Date: 2017-01-16
- Inventor: 권효영 , 강선혜 , 남궁란 , 남연희 , 허유미 , 김영민 , 문수현
- Applicant: 삼성에스디아이 주식회사
- Applicant Address: 경기도 용인시 기흥구 공세로 ***-** (공세동)
- Assignee: 삼성에스디아이 주식회사
- Current Assignee: 삼성에스디아이 주식회사
- Current Assignee Address: 경기도 용인시 기흥구 공세로 ***-** (공세동)
- Agent 팬코리아특허법인
- Main IPC: C07D209/04
- IPC: C07D209/04 ; C07D209/60 ; C07D209/82 ; C07D311/80 ; C07D333/50 ; G03F7/11
Abstract:
화학식 1로표현되는모노머, 상기모노머를포함하는유기막조성물, 상기유기막조성물로부터제조된유기막, 및상기유기막조성물을사용하는패턴형성방법에관한것이다. 상기화학식 1의정의는명세서내에기재한바와같다.
Public/Granted literature
- KR101884447B1 모노머, 유기막 조성물, 유기막, 및 패턴형성방법 Public/Granted day:2018-08-01
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