发明公开
- 专利标题: 다중-층 채널 및 전하 트래핑 층을 갖는 메모리 디바이스
- 专利标题(英): Memory device with multi-layer channel and charge trapping layer
- 专利标题(中): - 具有多层通道和电荷捕获层的存储器件
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申请号: KR1020160075053申请日: 2016-06-16
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公开(公告)号: KR1020170026101A公开(公告)日: 2017-03-08
- 发明人: 장,렌후아 , 람쿠마르,크리쉬나스와미 , 스기노,린지 , 수,레이
- 申请人: 사이프레스 세미컨덕터 코포레이션
- 申请人地址: *** Champion Court, San Jose, CA *****, U.S.A.
- 专利权人: 사이프레스 세미컨덕터 코포레이션
- 当前专利权人: 사이프레스 세미컨덕터 코포레이션
- 当前专利权人地址: *** Champion Court, San Jose, CA *****, U.S.A.
- 代理商 특허법인 남앤드남
- 优先权: US62/212,315 2015-08-31; US62/279,068 2016-01-15; US15/078,156 2016-03-23
- 主分类号: H01L27/115
- IPC分类号: H01L27/115
摘要:
3-D NAND 플래시메모리디바이스와같은 3-D/수직비-휘발성(NV) 메모리디바이스, 및그 제조방법이제공되며, NV 메모리디바이스는웨이퍼위의제 1 스택층들및 제 2 스택층들의교번하는스택층들의스택에배치되는수직개구, 각각의개구의내부측벽위에배치되는다중-층유전체, 다중-층유전체위에배치되는제 1 채널층 및제 1 채널층 위에배치되는제 2 채널층을포함하며, 제 1 또는제 2 채널층들중 적어도하나는다결정게르마늄또는실리콘-게르마늄을포함한다.
公开/授权文献
- KR102250029B1 다중-층 채널 및 전하 트래핑 층을 갖는 메모리 디바이스 公开/授权日:2021-05-10
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