发明公开
KR1020170026101A 다중-층 채널 및 전하 트래핑 층을 갖는 메모리 디바이스 审中-实审
- 具有多层通道和电荷捕获层的存储器件

다중-층 채널 및 전하 트래핑 층을 갖는 메모리 디바이스
摘要:
3-D NAND 플래시메모리디바이스와같은 3-D/수직비-휘발성(NV) 메모리디바이스, 및그 제조방법이제공되며, NV 메모리디바이스는웨이퍼위의제 1 스택층들및 제 2 스택층들의교번하는스택층들의스택에배치되는수직개구, 각각의개구의내부측벽위에배치되는다중-층유전체, 다중-층유전체위에배치되는제 1 채널층 및제 1 채널층 위에배치되는제 2 채널층을포함하며, 제 1 또는제 2 채널층들중 적어도하나는다결정게르마늄또는실리콘-게르마늄을포함한다.
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