发明公开
KR1020170088823A 알루미나 소결체 및 광학 소자용 하지 기판 审中-实审
Al2O3烧结体和用于光学元件的下层基板

알루미나 소결체 및 광학 소자용 하지 기판
摘要:
본발명의알루미나소결체는, 판면에대하여 X선을조사하였을때의 2θ=20°∼70°의범위에있어서의 X선회절프로파일을이용하여로트게링법(Lotgering method)에따라구한 c면배향도가 90% 이상이고, 판면과수직인방향으로절단한단면을 Ar이온빔과차폐판을이용하여연마한후 주사형전자현미경으로배율 5000배로조사하였을때의기공의수가제로이며, Mg, C 이외의불순물원소의합계의질량비율이 100 ppm 이하인것이다. 이알루미나소결체는, 고배향, 고밀도, 고순도이기때문에, 종래에비해서높은투광성을가지고있다.
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