发明公开
- 专利标题： 인터포저의 제조 방법
- 专利标题（英）： KR20180068871A - Method for manufacturing an interposer
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申请号： KR20170170314申请日： 2017-12-12
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公开(公告)号： KR20180068871A公开(公告)日： 2018-06-22
- 发明人: SUZUKI KATSUHIKO
- 申请人： DISCO CORP
- 专利权人： DISCO CORP
- 当前专利权人： DISCO CORP
- 优先权： JP2016242235 2016-12-14
- 主分类号： H01L21/78
- IPC分类号： H01L21/78 ; B23K26/38 ; H01L21/76 ; H01L23/00
摘要：
(과제) 유리기판을사용한인터포저의내열성을높일수 있는인터포저의제조방법을제공한다. (해결수단) 격자상으로설정된복수의분할예정라인에의해복수의영역으로구획되는유리기판과, 유리기판의제 1 면또는제 1 면과는반대측의제 2 면에적층되고절연층과배선층을포함하는적층체를구비하는재료기판으로부터복수의인터포저를제조하는인터포저의제조방법으로서, 분할예정라인을따라적층체의노출된면에제 1 절삭블레이드를절입시켜, 유리기판에도달하지않는깊이의절삭홈을적층체에형성하는절삭홈 형성공정과, 절삭홈보다폭이좁은제 2 절삭블레이드를절삭홈을따라유리기판에절입시켜, 유리기판을분할하여복수의인터포저를제조하는분할공정을포함한다.
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