- 专利标题: 금속-탄소 재료 복합 필름의 제조 방법
- 专利标题(英): KR20180096111A - Methods of manufacturing metal-carbon lmaterial complexed films
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申请号: KR1020170022357申请日: 2017-02-20
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公开(公告)号: KR1020180096111A公开(公告)日: 2018-08-29
- 发明人: 김명종 , 이상현 , 황준연 , 장세규 , 조현진 , 김준희 , 노호균
- 申请人: 한국과학기술연구원
- 申请人地址: 서울특별시 성북구 화랑로**길 * (하월곡동)
- 专利权人: 한국과학기술연구원
- 当前专利权人: 한국과학기술연구원
- 当前专利权人地址: 서울특별시 성북구 화랑로**길 * (하월곡동)
- 代理商 김영철; 김 순 영
- 主分类号: C04B35/622
- IPC分类号: C04B35/622 ; C04B35/52 ; C04B41/88 ; C23C18/31 ; H01L23/373
摘要:
아크방전공정을통해탄소재료를합성하는단계; 탄소재료및 섬유전구체를포함하는혼합용액을형성하는단계; 혼합용액을전기방사장치에충진한후 전기방사공정을수행하여예비탄소재료복합필름을제조하는단계; 예비탄소재료복합필름에안정화공정및 탄화공정을수행하여탄소재료복합필름을제조하는단계; 및금속증착공정을통해탄소재료복합필름상에금속층을형성하여, 금속-탄소재료복합필름을제조하는단계; 를포함하는금속-탄소재료복합필름의제조방법이제공된다.
公开/授权文献
- KR101898524B1 금속-탄소 재료 복합 필름의 제조 방법 公开/授权日:2018-09-13
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