• 专利标题: 진공 증착 장치 및 방법
  • 专利标题(英): KR20210024690A - Apparatus and method for vacuum deposition
  • 申请号: KR20217005918
    申请日: 2017-07-27
  • 公开(公告)号: KR20210024690A
    公开(公告)日: 2021-03-05
  • 优先权: IB2016054477 2016-07-27
  • 主分类号: C23C14/24
  • IPC分类号: C23C14/24 C23C14/14 C23C14/26 C23C14/54 C23C14/56
진공 증착 장치 및 방법
摘要:
본발명은주 엘리먼트및 적어도하나의추가엘리먼트를포함하는금속합금으로형성된코팅을진행기재 (S) 상에연속적으로증착하기위한진공증착설비 (1) 에관한것으로, 상기진공증착설비는진공증착챔버 (2) 및상기진공증착챔버를통해상기기재를진행시키는수단을포함하고, 상기진공증착설비는, 추가로, - 증기제트코팅기 (3), - 상기주 엘리먼트및 상기적어도하나의추가엘리먼트를포함하는증기를상기증기제트코팅기에공급하기에적합한증발도가니 (4), - 용융상태의상기주 엘리먼트를상기증발도가니에공급하기에적합하고상기증발도가니에일정레벨의액체를유지할수 있는재충전노 (9), - 고체상태의상기적어도하나의추가엘리먼트를공급받기에적합하고, 무관하게용융상태, 고체상태또는부분적으로고체상태의상기적어도하나의추가엘리먼트를상기증발도가니에공급하기에적합한공급유닛 (11) 을포함한다. 또한, 본발명은주 엘리먼트및 적어도하나의추가엘리먼트를포함하는금속합금으로형성된코팅을진행기재상에연속적으로증착하기위한방법에관한것이다.
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