반복적인 결함 필터링 프로세스
摘要:
웨이퍼의결함들을분류하는방법은, 컴퓨터화된시스템에의해, 결함후보들의그룹에관한결함후보정보를획득하는단계 - 상기결함후보정보는상기그룹의각각의결함후보마다의속성들의값들을포함함 -; 상기컴퓨터화된시스템의프로세서에의해, 결함후보들의선택된서브그룹을, 적어도상기선택된서브그룹에속하는결함후보들의속성들의값들에응답하여선택하는단계; 선택된서브그룹분류결과들을제공하기위해상기선택된서브그룹의결함후보들을분류하는단계; 정지조건을충족시킬때까지: 결함후보들의추가의선택된서브그룹을, (a) 적어도상기추가의선택된서브그룹에속하는결함후보들의속성들의값들; 및 (b) 적어도하나의다른선택된서브그룹을분류함으로써획득된분류결과들에응답하여선택하는단계; 및추가의선택된서브그룹분류결과들을제공하기위해상기추가의선택된서브그룹의결함후보들을분류하는단계를반복하는단계에의해실행될수 있다.
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