发明授权
- 专利标题: 반복적인 결함 필터링 프로세스
- 专利标题(英): ITERATIVE DEFECT FILTERING PROCESS
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申请号: KR1020177013505申请日: 2015-09-30
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公开(公告)号: KR102251862B1公开(公告)日: 2021-05-17
- 发明人: 샤브타이,사르 , 카이저만,이단 , 와크스,아미르
- 申请人: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 , 어플라이드 머티리얼즈 이스라엘 리미티드
- 申请人地址: **** Bowers Avenue, Santa Clara, CA *****, U.S.A.
- 专利权人: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드,어플라이드 머티리얼즈 이스라엘 리미티드
- 当前专利权人: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드,어플라이드 머티리얼즈 이스라엘 리미티드
- 当前专利权人地址: **** Bowers Avenue, Santa Clara, CA *****, U.S.A.
- 代理商 양영준; 백만기
- 优先权: US14/522,543 2014-10-23
- 国际申请: PCT/US2015/053240 2015-09-30
- 国际公布: WO2016064547 2016-04-28
- 主分类号: G06K9/62
- IPC分类号: G06K9/62 ; G06K9/52 ; G06T7/00 ; G06T7/10 ; G06K9/46
摘要:
웨이퍼의결함들을분류하는방법은, 컴퓨터화된시스템에의해, 결함후보들의그룹에관한결함후보정보를획득하는단계 - 상기결함후보정보는상기그룹의각각의결함후보마다의속성들의값들을포함함 -; 상기컴퓨터화된시스템의프로세서에의해, 결함후보들의선택된서브그룹을, 적어도상기선택된서브그룹에속하는결함후보들의속성들의값들에응답하여선택하는단계; 선택된서브그룹분류결과들을제공하기위해상기선택된서브그룹의결함후보들을분류하는단계; 정지조건을충족시킬때까지: 결함후보들의추가의선택된서브그룹을, (a) 적어도상기추가의선택된서브그룹에속하는결함후보들의속성들의값들; 및 (b) 적어도하나의다른선택된서브그룹을분류함으로써획득된분류결과들에응답하여선택하는단계; 및추가의선택된서브그룹분류결과들을제공하기위해상기추가의선택된서브그룹의결함후보들을분류하는단계를반복하는단계에의해실행될수 있다.
公开/授权文献
- KR1020170074932A 반복적인 결함 필터링 프로세스 公开/授权日:2017-06-30
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