• Patent Title: 공중 부유형 나노 구조물 기반 초 저전력 가스센서 및 그 제조 방법
  • Patent Title (English): ULTRA-LOW POWER GAS SENSOR BASED ON SUSPENDED NANO STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
  • Application No.: KR1020200156123
    Application Date: 2020-11-20
  • Publication No.: KR102468714B1
    Publication Date: 2022-11-21
  • Priority: KR1020200099381 2020-08-07
  • Main IPC: G01N27/407
  • IPC: G01N27/407 G01N27/406 G01N27/12
공중 부유형 나노 구조물 기반 초 저전력 가스센서 및 그 제조 방법
Abstract:
일실시예에따른공중부유형나노구조물기반초 저전력가스센서는, 상부표면에요입형성된, 소정의개구부를갖는홈을구비하는기판; 상기상부표면상에배치되되, 상기홈의개구부중 일부를커버하고상기일부를제외한나머지부분은커버하지않는제 1 절연층; 상기제 1 절연층상에배치되는나노구조물; 상기나노구조물의표면중 일부, 상기제 1 절연층의상면의일부분및 상기홈의바닥면중에서상기제 1 절연층이커버하지않는개구부에수직대향하는부분에증착되는제 1 도전체; 상기제 1 도전체의일부, 상기제 1 도전체가증착되어있지않은상기나노구조물의표면중 일부, 상기제 1 절연층의일부및 상기기판의홈에증착되는제 2 절연층; 상기나노구조물상에증착되어있는제 2 절연층의표면중 일부에형성된제 2 도전체; 상기나노구조물상면에증착되는제 1 도전체와제 2 절연층의양측각각과접하는제 1 전극; 및상기제 2 절연층의일부와상기제 2 도전체의양측각각과접하는제 2 전극을포함하되, 상기제 1 도전체는상기제 2 도전체와서로절연될수 있다.
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