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KR102480828B1 가요성 기판을 가이딩하기 위한 롤러 디바이스, 가요성 기판을 운송하기 위한 롤러 디바이스의 사용, 진공 프로세싱 장치, 및 가요성 기판을 프로세싱하는 방법 有权

  • 专利标题： 가요성 기판을 가이딩하기 위한 롤러 디바이스, 가요성 기판을 운송하기 위한 롤러 디바이스의 사용, 진공 프로세싱 장치, 및 가요성 기판을 프로세싱하는 방법
  • 专利标题（英）： ROLLER DEVICE FOR GUIDING A FLEXIBLE SUBSTRATE, USE OF A ROLLER DEVICE FOR TRANSPORTING A FLEXIBLE SUBSTRATE, VACUUM PROCESSING APPARATUS, AND METHOD OF PROCESSING A FLEXIBLE SUBSTRATE
  • 申请号： KR1020217001010
    申请日： 2018-06-14
  • 公开(公告)号： KR102480828B1
    公开(公告)日： 2022-12-23
  • 国际申请： PCT/EP2018/065849 2018-06-14
  • 国际公布： WO2019238236 2019-12-19
  • 主分类号： C23C14/56
  • IPC分类号： C23C14/56 ;  C23C16/54 ;  B65H27/00
가요성 기판을 가이딩하기 위한 롤러 디바이스, 가요성 기판을 운송하기 위한 롤러 디바이스의 사용, 진공 프로세싱 장치, 및 가요성 기판을 프로세싱하는 방법
摘要：
가요성기판(10)을가이딩하기위한롤러디바이스(100)가설명된다. 롤러디바이스(100)는가요성기판(10)과접촉하기위한지지표면(110)을포함하며, 지지표면(110)은전기음성폴리머를포함하는코팅(120)을갖는다. 추가로, 롤러디바이스(100)를포함하는, 가요성기판을프로세싱하기위한진공프로세싱장치, 및진공프로세싱장치에서가요성기판을프로세싱하는방법이설명된다.
摘要（英）：

A roller device for guiding a flexible substrate is described. The roller device includes a support surface for contacting the flexible substrate, the support surface having a coating comprising an electronegative polymer. Further, a vacuum processing apparatus for processing a flexible substrate including the roller device and a method of processing a flexible substrate in the vacuum processing apparatus is described.

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