Invention Patent
- Patent Title: 配線構造
- Patent Title (English): Interconnect structure
- Patent Title (中): 配线构造
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Application No.: TW100111316Application Date: 2011-03-31
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Publication No.: TW201207523APublication Date: 2012-02-16
- Inventor: 奧野博行 , 前田剛彰 , 後藤裕史
- Applicant: 神戶製鋼所股份有限公司
- Applicant Address: KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.) 日本 JP
- Assignee: 神戶製鋼所股份有限公司
- Current Assignee: 神戶製鋼所股份有限公司
- Current Assignee Address: KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.) 日本 JP
- Agent 林志剛
- Priority: 日本 2010-084225 20100331 日本 2010-091764 20100412
- Main IPC: G02F
- IPC: G02F ; H01L
Abstract:
提供一種即使防止起因於水份從裂痕侵入的金屬配線端面的腐蝕,或者金屬配線端面產生腐蝕的情形下,也能防止該腐蝕到達構成驅動液晶顯示裝置之液晶顯示部分的閘極線等之金屬配線的技術。本發明係有關一種配線構造,針對在基板之上具有於同一平面上形成有複數金屬配線,且在金屬配線之上形成有絕緣膜的層積構成,且具有利用切割加工露出切斷端面之第一金屬配線的配線構造,其特徵為:當第一金屬配線的線寬為X(���m)、第一金屬配線的長度為Y(���m)時,滿足(1)或(2)及/或下述(3)之要件;當(1)X≦20���m、(2)X>20���m時,Y≧10X-160,(3)在第一金屬配線之切斷端面至鄰接於第一金屬配線的第二金屬配線之間,第一金屬配線具有絕緣膜不存在的區域Z。又,本發明是有關一種配線構造,為一種在基板上具有利用切割加工露出切斷端面的第一金屬配線、第二金屬配線、和絕緣膜的顯示裝置用配線構造,前述第一金屬配線係具有100���m以上的不連續部,因前述不連續部而分斷的各第一金屬配線,係因第二金屬配線而連結,前述被分斷的第一金屬配線和前述第二金屬配線的接觸界面的至少一方,係具有比構成前述第一金屬配線或前述第二金屬配線的金屬微貴的金屬的腐蝕防止層為其特徵。
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