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TW201508850A 互連結構及其製造方法 审中-公开
互链接构及其制造方法

互連結構及其製造方法
摘要:
一種傳導互連結構包含一接觸墊,一導電體之一第一端與該接觸墊相連,以及一導電層位於該導電體之一第二端。該導電體具有一縱向垂直於該接觸墊之一表面。該導電體具有一位於橫截面(面A)之平均粒徑(a),該橫截面之法線垂直於該導電體之縱向。該導電層包含位於面A之一平均粒徑(b)。該導電體及該導電層皆是由相同材料組成,且該平均粒徑(a)大於該平均粒徑(b)。
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