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发明专利
TW201515526A 電源裝置 审中-公开
电源设备

電源裝置
摘要：
本發明的目的在於提供一種在含有電漿產生裝置及電源裝置的系統中，能夠謀求發生故障時的對策，且能夠早期修復電源裝置。本發明係具備：限流電抗器(Lc)，係抑制短路電流；控制部(6)，係控制換流器(3)的動作；及檢測部(31、32、41、42)，係偵測短路。此外，當短路發生時，控制部6即令換流器3停止。
摘要（中）：

本发明的目的在于提供一种在含有等离子产生设备及电源设备的系统中，能够谋求发生故障时的对策，且能够早期修复电源设备。本发明系具备：限流电抗器(Lc)，系抑制短路电流；控制部(6)，系控制换流器(3)的动作；及检测部(31、32、41、42)，系侦测短路。此外，当短路发生时，控制部6即令换流器3停止。

摘要（英）：

This invention provides a power supply device which enables a system including a plasma generating device and a power supply device to be repaired quickly in the event of failure of the system. The power supply device of this invention is provided with a current limiting reactor (Lc) for suppressing a short circuit current, a control unit (6) for controlling the operation of an inverter (3), and detection units (31, 32, 41, 42) for detecting a short circuit. In the event of a short circuit, the control unit (6) stops the operation of the inverter (3).

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