发明专利
- 专利标题: 半導體裝置之製造方法及半導體裝置
- 专利标题(英): Method for manufacturing semiconductor device and semiconductor device
- 专利标题(中): 半导体设备之制造方法及半导体设备
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申请号: TW103134881申请日: 2014-10-07
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公开(公告)号: TW201535594A公开(公告)日: 2015-09-16
- 发明人: 川崎敦子 , KAWASAKI, ATSUKO
- 申请人: 東芝股份有限公司 , KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
- 专利权人: 東芝股份有限公司,KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
- 当前专利权人: 東芝股份有限公司,KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
- 代理商 林志剛
- 优先权: 2013-256070 20131211
- 主分类号: H01L21/768
- IPC分类号: H01L21/768 ; H01L23/00
摘要:
本發明係一種半導體裝置之製造方法及半導體裝置,其中,如根據實施形態之半導體裝置之製造方法,形成第1導電層及第1絕緣層則從表面露出之第1配線層,形成第2導電層及第2絕緣層則從表面露出之第2配線層,經由前述第1絕緣層表面之中,將包含前述第1導電層周圍之一部分範圍,作為較前述第1導電層表面為低之時,於前述第1絕緣層表面,形成第1非接合面,接合前述第1導電層表面與前述第2導電層表面之同時,接合除了前述第1非接合面之前述第1絕緣層表面與前述第2絕緣層表面。
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