发明专利
TW201707009A 半導體裝置用接合線 审中-公开
半导体设备用接合线

半導體裝置用接合線
摘要:
本發明提供一種接合線,其係於表面具有Pd被覆層之Cu接合線,且改善高溫高濕環境下之球接合部之接合可靠性,適合於車載用元件。 於具有Cu合金芯材、及形成於上述Cu合金芯材之表面之Pd被覆層之半導體裝置用接合線中,接合線包含合計為0.011~1.2質量%之Ga、Ge。藉此,可提昇高溫高濕環境下之球接合部之接合壽命,改善接合可靠性。較佳為Pd被覆層之厚度為0.015~0.150μm。若接合線進而含有分別為0.011~1.2質量%之Ni、Ir、Pt之1種以上,則可提昇175℃以上之高溫環境下之球接合部可靠性。又,若於Pd被覆層之表面進而形成包含Au及Pd之合金表皮層,則會改善楔接合性。
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