发明专利
- 专利标题: 半導體裝置、半導體結構及其製造方法
- 专利标题(英): Semiconductor devices, semiconductor structures and methods of manufacture thereof
- 专利标题(中): 半导体设备、半导体结构及其制造方法
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申请号: TW105142326申请日: 2016-12-20
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公开(公告)号: TW201727787A公开(公告)日: 2017-08-01
- 发明人: 張貴松 , CHANG, KUEI-SUNG , 蔡念宗 , TSAI, NIEN-TSUNG
- 申请人: 台灣積體電路製造股份有限公司 , TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY LTD.
- 申请人地址: 新竹市
- 专利权人: 台灣積體電路製造股份有限公司,TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY LTD.
- 当前专利权人: 台灣積體電路製造股份有限公司,TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING COMPANY LTD.
- 当前专利权人地址: 新竹市
- 代理商 陳長文; 馮博生
- 优先权: 15/011,122 20160129
- 主分类号: H01L21/60
- IPC分类号: H01L21/60
摘要:
本發明實施例揭露半導體裝置、半導體結構及其製造方法。在一些實施例中,一種方法係包括形成一接觸墊在一半導體裝置上方。一鈍化材料係形成在該接觸墊上方。該鈍化材料具有一厚度以及一材料種類而使得可透過該鈍化材料對該接觸墊作出一電連接。
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