发明专利
- 专利标题: 堆疊式封裝裝置的製造方法
- 专利标题(英): Method for manufacturing package-on-package device
- 专利标题(中): 堆栈式封装设备的制造方法
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申请号: TW106107259申请日: 2017-03-06
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公开(公告)号: TW201802965A公开(公告)日: 2018-01-16
- 发明人: 陳英儒 , CHEN, YING JU , 陳潔 , CHEN, JIE , 陳憲偉 , CHEN, HSIEN WEI
- 申请人: 台灣積體電路製造股份有限公司 , TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
- 申请人地址: 新竹市
- 专利权人: 台灣積體電路製造股份有限公司,TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
- 当前专利权人: 台灣積體電路製造股份有限公司,TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
- 当前专利权人地址: 新竹市
- 代理商 李世章; 秦建譜
- 优先权: 62/329,347 20160429;15/227,870 20160803
- 主分类号: H01L21/56
- IPC分类号: H01L21/56
摘要:
一種堆疊式封裝裝置的製造方法:(i)接收前驅物封裝,前驅物封裝包括前驅物基板及前驅物基板上之複數個半導體封裝,其中在前驅物基板與半導體封裝之每一者之間存在縫隙;(ii)形成填充縫隙之底部封膠材料;(iii)沿著半導體封裝之相鄰多者之間的區域切割前驅物基板,以形成複數個離散的堆疊式封裝裝置;以及(iv)將補充底部封膠材料應用至該等堆疊式封裝裝置中的一個堆疊式封裝裝置。
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