发明专利
- 专利标题： 剝離方法、電腦記憶媒體及剝離系統
- 专利标题（英）： Detachment method and computer storage medium and detachment system
- 专利标题（中）： 剥离方法、电脑记忆媒体及剥离系统
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申请号： TW101131375申请日： 2012-08-29
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公开(公告)号： TWI517203B公开(公告)日： 2016-01-11
- 发明人: 岡田慎二 , OKADA, SHINJI , 白石雅敏 , SHIRAISHI, MASATOSHI , 出口雅敏 , DEGUCHI, MASATOSHI , 薩維爾 法蘭克斯 布朗 , XAVIER FRANCOIS BRUN , 查理斯 韋恩 辛格頓二世 , CHARLES WAYNE SINGLETON JR. , 開柏庫馬 莫普立 , KABIRKUMAR MIRPURI
- 申请人： 東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED , 英特爾股份有限公司 , INTEL CORPORATION
- 专利权人： 東京威力科創股份有限公司,TOKYO ELECTRON LIMITED,英特爾股份有限公司,INTEL CORPORATION
- 当前专利权人： 東京威力科創股份有限公司,TOKYO ELECTRON LIMITED,英特爾股份有限公司,INTEL CORPORATION
- 代理商 周良謀; 周良吉
- 优先权： 2011-197705 20110909
- 主分类号： H01L21/02
- IPC分类号： H01L21/02 ; H01L21/67
公开/授权文献
- TW201334025A 剝離方法、電腦記憶媒體及剝離系統 公开/授权日：2013-08-16
信息查询
IPC分类:
