发明专利
- 专利标题： 臨時接著材料組成物、及薄型晶圓之製造方法
- 专利标题（中）： 临时接着材料组成物、及薄型晶圆之制造方法
-
申请号： TW101100924申请日： 2012-01-10
-
公开(公告)号： TWI526512B公开(公告)日： 2016-03-21
- 发明人: 古屋昌浩 , FURUYA, MASAHIRO , 田上昭平 , TAGAMI, SHOHEI , 加藤英人 , KATO, HIDETO , 伊東秀行 , ITO, HIDEYUKI , 吉澤政博 , YOSHIZAWA, MASAHIRO
- 申请人： 信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
- 专利权人： 信越化學工業股份有限公司,SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
- 当前专利权人： 信越化學工業股份有限公司,SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
- 代理商 林志剛
- 优先权： 2011-003097 20110111
- 主分类号： C09J183/04
- IPC分类号： C09J183/04 ; H01L21/683
公开/授权文献
- TW201245374A 臨時接著材料組成物、及薄型晶圓之製造方法 公开/授权日：2012-11-16
信息查询
IPC分类:
