发明专利
- 专利标题: 半導體裝置
- 专利标题(中): 半导体设备
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申请号: TW104128930申请日: 2015-09-02
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公开(公告)号: TWI595649B公开(公告)日: 2017-08-11
- 发明人: 山下浩明 , YAMASHITA, HIROAKI , 小野昇太郎 , ONO, SYOTARO , 浦秀幸 , URA, HIDEYUKI , 志村昌洋 , SHIMURA, MASAHIRO
- 申请人: 東芝股份有限公司 , KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
- 专利权人: 東芝股份有限公司,KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
- 当前专利权人: 東芝股份有限公司,KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
- 代理商 陳長文
- 优先权: 2015-039388 20150227
- 主分类号: H01L29/06
- IPC分类号: H01L29/06 ; H01L29/66 ; H01L29/78
公开/授权文献
- TW201631758A 半導體裝置 公开/授权日:2016-09-01
信息查询
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