发明授权
- 专利标题： Optical component
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申请号： US15257020申请日： 2016-09-06
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公开(公告)号： US10133183B2公开(公告)日： 2018-11-20
- 发明人: Michael Patra , Markus Deguenther , Paul Buettner , Willi Heintel , Henner Baitinger
- 申请人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 申请人地址： DE Oberkochen
- 专利权人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 当前专利权人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 当前专利权人地址： DE Oberkochen
- 代理机构： Fish & Richardson P.C.
- 优先权： DE102014204818 20140314
- 主分类号： G03B27/52
- IPC分类号： G03B27/52 ; G03F7/20 ; G02B5/08 ; G02B5/09 ; G02B26/08 ; G02B27/00
摘要：
An optical component for a projection exposure apparatus includes a multiplicity of variably positionable beam-guiding elements which serve as pupil facets. The optical component can be arranged in the beam path of the projection optical unit.
公开/授权文献
- US20160370707A1 OPTICAL COMPONENT 公开/授权日：2016-12-22
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