- 专利标题： Objective lens system
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申请号： US15777908申请日： 2016-11-21
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公开(公告)号： US10247940B2公开(公告)日： 2019-04-02
- 发明人: Kirill Urievich Sobolev
- 申请人： ASML HOLDING N.V.
- 申请人地址： NL Veldhoven
- 专利权人： ASML Holding N.V.
- 当前专利权人： ASML Holding N.V.
- 当前专利权人地址： NL Veldhoven
- 代理机构： Pillsbury Winthrop Shaw Pittman LLP
- 国际申请： PCT/EP2016/078222 WO 20161121
- 国际公布： WO2017/097564 WO 20170615
- 主分类号： G03F9/00
- IPC分类号： G03F9/00 ; G02B27/00 ; G02B21/02 ; G01B9/02 ; G01B11/27 ; G02B17/02 ; G03F7/20
摘要：
An alignment system uses a self-referencing interferometer that incorporates an objective lens system having a plurality of lens element groups. In an embodiment, the objective is configured and arranged to provide a large numerical aperture, long working distance, and low wavefront error.
公开/授权文献
- US20180341105A1 OBJECTIVE LENS SYSTEM 公开/授权日：2018-11-29
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